witec360 Semicon
witec360 Semicon
Grossflächige Untersuchung von Wafern in der Halbleiterindustrie
Die witec360 Halbleiter Edition ist ein hochwertiges konfokales Raman- und Photolumineszenz-Mikroskop, das speziell für die chemische Bildgebung von Halbleitermaterialien konfiguriert wurde. Es hilft Forschenden, die Charakterisierung von Kristallqualität, Verspannungen und Dotierung in ihren Halbleiterproben und Wafern zu beschleunigen.
Der Scantisch des Mikroskops erfasst einen besonders grossen Bereich und erlaubt so die Untersuchung von ganzen Wafern mit bis zu 300 mm (12 Zoll) Durchmesser sowie die Aufnahme von grossflächigen Raman-Bildern. Das Gerät verfügt über Schwingungsdämpfung und aktive Fokusstabilisierung um topographische Unterschiede während langen oder grossflächigen Messungen auszugleichen. Die vollständige Automatisierung aller Komponenten ermöglicht es, das Gerät fernzusteuern und wiederkehrende Messprozesse zu definieren.
Vorteile
- Vollständige Inspektion von Wafern bis zu 300 mm (12 Zoll)
- Zerstörungsfreie Charakterisierung von Kristallinität, Polymorphie, Defekten, Verspannungen und Dotierung
- Analyse von Halbleitern mit breiter Bandlücke und mehreren Schichten
- Oberflächenanalysen, Tiefenscans und 3D Bildgebung
Wir freuen uns auf Ihre Anfrage!
