Ultim Extreme Infinity
Ultim Extreme Infinity
Ultim Extreme ∞ („Infinity“) ist eine bahnbrechende Lösung für hochauflösende FEG-SEM. Dieser einzigartige Detektor ermöglicht die EDS-Datenerfassung bei sehr niedrigen kV (z. B. 1–3 kV) und sehr geringem Arbeitsabstand. Dadurch wird die Elementanalyse unter den Bedingungen ermöglicht, die für die Untersuchung von Nanomaterialien und Oberflächen mit höchster SEM-Auflösung erforderlich sind. Die maximale Empfindlichkeit wird durch spezifische technologische Lösungen gewährleistet, wie z. B.: speziell geformter Sensor, fensterloses Design, geringe Nähe des Sensors zur Probe, kleine Elektronenfalle und sehr großer Raumwinkel.
Diese Lösungen ermöglichen die beste Nanocharakterisierung und den Nachweis leichter Elemente.
- Nanoauflösende Bildgebung und Elementanalyse unter gleichen Bedingungen (Arbeitsabstand, Stromstärke, kV)
< 3 kV, sogar bis hinunter zu 1 kV, geringe Stromstärke (100 pA), kurzer Arbeitsabstand (< 5 mm, In-Lens-Detektoren für die Bildgebung).
- Schnellste und präziseste Nanocharakterisierung
Schnelle Datenerfassung, Echtzeit-Datenverarbeitung von Bulkproben und signifikante Signalverstärkung bei kleinen Strukturen/Phasen mit niedriger Konzentration.
- Ultimative Ortsauflösung für SEM-EDS
Elementcharakterisierung im Sub-10-nm-Bereich im FEG-SEM.
- Extrem hohe Empfindlichkeit gegenüber leichten Elementen (Be-F), in Sonderfällen sogar Li*.
Neue Nachweisgrenzen für Elemente wie Stickstoff und Sauerstoff.
- Oberflächenanalytische Empfindlichkeit
Charakterisierung von Oberflächen im SEM, Materialcharakterisierung bis hinunter zu 1 kV, weg von TEM oder anderen oberflächenanalytischen Verfahren.
- Analyse von Materialien mit geringer Schädigung
Analyse von Materialien, bei denen die Empfindlichkeit des Elektronenstrahls die Genauigkeit und den Nutzen der energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDS) einschränkt (z. B. biologische Materialien, Polymere).
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