Ultim Extreme Infinity
Ultim Extreme Infinity
Der Ultim Extreme Infinity EDS-Detektor von Oxford Instruments wurde speziell für die hochauflösende chemische Elementanalyse von Nanomaterialien und Oberflächen im Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (FE-REM) entwickelt. Das System ermöglicht energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDS/EDX) bei sehr niedrigen Beschleunigungsspannungen und kurzen Arbeitsabständen. Dadurch lassen sich feinste Materialstrukturen, Grenzflächen und chemische Zusammensetzungen unter hochauflösenden Mikroskopiebedingungen untersuchen.
Dank seines fensterlosen Detektordesigns und einer optimierten Detektorgeometrie erreicht der Ultim Extreme Infinity eine besonders hohe Empfindlichkeit für niederenergetische Röntgenstrahlung und leichte Elemente. Messungen bei Beschleunigungsspannungen von 1 bis 3 kV ermöglichen eine räumlich hochaufgelöste Elementanalyse bis in den Bereich unter 10 nm. Die garantierte Energieauflösung von höchstens 46 eV bei C Kα unterstützt die zuverlässige Unterscheidung eng benachbarter Elementpeaks.
In Kombination mit der Tru-Q IQ Signalverarbeitung und der TruMap-Technologie ermöglicht der Ultim Extreme Infinity die präzise Identifikation chemischer Elemente sowie die Erstellung hochauflösender EDS-Elementkarten. Die hohe Empfindlichkeit unterstützt zudem die Analyse strahlempfindlicher Materialien bei niedrigen Elektronenstrahlströmen. Damit eignet sich das System insbesondere für Anwendungen in der Halbleiterforschung, Nanotechnologie, Oberflächenanalyse und Materialwissenschaft.
- Fensterloser EDS/EDX-Detektor für hochauflösende Elementanalysen im FE-REM
- Elementanalyse bei niedrigen Beschleunigungsspannungen von 1 bis 3 kV
- Räumliche Elementcharakterisierung im Bereich unter 10 nm unter geeigneten Messbedingungen
- Garantierte Energieauflösung von ≤ 46 eV bei C Kα bis 50.000 cps
- Hohe Empfindlichkeit für leichte Elemente von Beryllium bis Fluor
- Optimierte Detektorgeometrie für kurze Arbeitsabstände unter 5 mm
- Präzise Spektrenauswertung und EDS-Mapping mit Tru-Q IQ und TruMap
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