Coxem Ion Beam Milling
Coxem Ion Beam Milling
Die IP-Serie (IP-8K / IP-10K) von Coxem ist für die präzise Querschnittspräparation mittels Argon-Ionenstrahl konzipiert. Sie liefert hochwertige 90°-Querschnitte, die sich ideal für detaillierte mikrostrukturelle Analysen eignen.
Durch die Verwendung des Argon-Ionenstrahls minimiert die IP-Serie Verformungen, Risse und Verunreinigungen, die typischerweise beim mechanischen Polieren entstehen. So entstehen saubere, unbeschädigte Oberflächen, die die Zuverlässigkeit von REM- und EDX-Analysen verbessern.
Mit dem optionalen Kühl- und Luftschutzmodul können selbst wärme- und oxidationsempfindliche Proben sicher bearbeitet werden. Das System eignet sich für eine Vielzahl von Materialien, darunter Metalle, Keramiken und Batteriekomponenten.
Grundsätze der Querschnitts-Poliermaschine
Wenn an die Ionenkanone eine Spannung angelegt und Argongas eingeleitet wird, entsteht Plasma, und ein Ionenstrahl wird durch eine Beschleunigungsspannung auf die Probe gerichtet, um den Ätzprozess zu starten. Befindet sich die Probe hinter einer Metallmaske und wird der Ionenstrahl auf die Metallmaske und die Probe gerichtet, minimiert die Abschirmwirkung der Metallmaske die Strahlschäden, sodass saubere Querschnittsätzbilder erzielt werden.
Funktionen
- Hohe Ätzrate von 700 μm pro Stunde (basierend auf Si, 8 kV)
- Möglichkeit zum Speichern und Laden häufig verwendeter Rezepturen
- Schritt-für-Schritt-Rezepturen mit automatischer Ausführungsfunktion
- Einfaches Einlegen der Probe dank intelligentem Probenhalter
- Echtzeit-Beobachtung des Ionenstrahl- und Ätzstatus (Kammerkamera)
- Komfortable Bedienung – intuitive Benutzeroberfläche und einfacher Touchscreen
- Minimiert thermische Schäden durch die automatische Ein-/Ausschaltfunktion des Ionenstrahls oder durch einen optionalen gekühlten Probentisch
- Schnelle und bequeme Probenausrichtung mit dem Ionenstrahl mithilfe des integrierten Digitalmikroskops
- Ausgestattet mit einer geräusch- und vibrationsarmen, ölfreien Membranpumpe
- Optional mit einem zusätzlichen Probentisch für das flache Nachpolieren von eingebtetteten Schliffen
Anwendungsbeispiele
Flat Milling
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