Tabletop-REM COXEM
Tabletop-REM COXEM
Ein COXEM Tisch-REM (Tabletop SEM EM-40) kombiniert die vom Lichtmikroskop gewohnte kleine Grundfläche und einfache Bedienung mit der hohen Auflösung und den analytischen Möglichkeiten des Elektronenmikroskops. Mit der optischen Navigationskamera wird ihre Probe und der zu untersuchende Bereich schnell gefunden und mit den Autofunktionen und der intuitiv gestalteten Software entsteht ein Bild in kürzester Zeit.
Während der SE (für Sekundärelektronen) Detektor ein Bild mit Topographie und grosser Tiefenschärfe ergibt, ist der BSE (für Rückstreuelektronen) der ideale Detektor, um unterschiedliche Zusammensetzung zu zeigen, beispielsweise Fremdpartikel oder Einschlüsse.
Das Gerät kann im Hochvakuum oder im sogenannten Niedervakuum (optional) betrieben werden. Das Hochvakuum ist für hohe Auflösungen bei elektrisch leitenden oder beschichteten Proben ideal. Bei isolierenden Proben wird ein niedrigeres Vakuum in der Kammer erzeugt, sodass die Ladung auf der Oberfläche neutralisiert wird.
Der grosse Spannungsbereich im COXEM Tisch-REM bringt grosse Vorteile, um unterschiedliche Proben abzubilden. Die tiefen Spannungen unter 5 kV ermöglichen es, die Oberfläche äusserst fein und strukturiert abzubilden, während die hohen Spannungen bis 30 kV einen grossen Nutzen in der Materialbestimmung mittels EDX haben oder auch Strukturen unter der Oberfläche mit detektieren können. Dabei lässt sich die Hochspannung in Schritten von 1kV einstellen.
Das COXEM REM kann mit einem Mikroanalyse System erweitert werden und ermöglicht Ihnen eine qualitative und quantitative Analyse der Probe. Das EDX System besteht aus einem Röntgendetektor, einer Hardware und der AZTec Software mit breiten Möglichkeiten wie Mapping und Linescans. Optional ist ein Mikroanalyse-System von Bruker erhältlich welches nebst dem EDX auch die Installation eines EBSD Detektors ermöglicht.
Spezifikationen
- Vergrösserung 20 – 100.000
- Auflösung > 10 nm
- Beschleunigungsspannung 1 – 30 kV (1kV Schritte)
- Elektronenquelle Wolfram-Glühfaden
- HV, Niedervakuum optional
- Detektoren SE und 4-Kanal-BSE (Kompo)
- Navigationskamera
- Probentisch motorisiert, X,Y,Z, 40 mm x 40 mm x 40 mm
- Kammergrösse, LxBxH 315 mm x 560 mm x 580 mm
- Intuitive Bedienung, optional mit Joystick
- EDX Detektor optional Oxford Instruments oder Bruker
- EBSD optional
...gerne informieren Sie über weitere Optionen und Möglichkeiten
Häufige Fragen
Was sind die Unterschiede zwischen dem Tisch-REM COXEM und einem ZEISS EVO?
Das ZEISS EVO und COXEM Systeme unterscheiden sich vor allem in Leistungsfähigkeit, Flexibilität und Platzbedarf.
COXEM Tisch-REM – Vorteile:
COXEM Systeme sind kompakt, benötigen wenig Platz und sind besonders benutzerfreundlich. Dadurch eignen sie sich ideal für einfache Anwendungen und einen schnellen Einstieg.
COXEM Tisch-REM – Einschränkungen:
Im Vergleich zum EVO sind sie empfindlicher gegenüber Umwelteinflüssen, verfügen über eine kleinere Probenkammer und bieten eine geringere Auflösung (<10 nm). Ein 5-Achs-Tisch ist nur mit zusätzlichem Probenhalter realisierbar.
ZEISS EVO – Vorteile:
Das EVO bietet eine höhere Auflösung sowie eine grössere Probenkammer und ist standardmässig mit einem 5-Achs-motorisierten Tisch ausgestattet. Dank besserer Abschirmung ist es weniger anfällig für Umwelteinflüsse wie Vibrationen oder elektrische Felder. Zudem ist das System durch zusätzliche Ports flexibel für zukünftige Erweiterungen mit Detektoren ausgelegt.
ZEISS EVO – Einschränkungen:
Der Platzbedarf ist vergleichsweise gross.
Anwendungsbeispiele
SE- Detektor
BSE-Detektor
Niedervakuum-Modus
Hochvakuum-Modus
Niederige Spannungen
Hohe Spannungen
