Unity BEX
Unity BEX
Unity ist der weltweit erste kombinierte Rückstreuelektronen- und Röntgendetektor (BEX) für die Rasterelektronenmikroskopie (REM). Er wurde entwickelt, um mehrere systembedingte Einschränkungen der herkömmlichen energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDS) und der REM-Bildgebung zu überwinden. Obwohl EDS die Standardmethode zur Elementanalyse im REM ist, stößt sie an zwei zentrale Herausforderungen: die geringe Intensität von Röntgenstrahlen – etwa 1000-mal schwächer als die von Elektronen – und die relativ große Entfernung des Silizium-Drift-Detektors (SDD) von der Probe, was die Empfindlichkeit reduziert. Darüber hinaus weisen EDS-Detektoren typischerweise einen geringen Abnahmewinkel von etwa 30 Grad auf, was bei rauen Proben zu Abschattungseffekten führt und ihre Effektivität weiter einschränkt.
Unity begegnet diesen Einschränkungen durch die Kombination von Rückstreuelektronen- und Röntgensensoren direkt unterhalb des Polschuhs, wodurch diese extrem nah an der Probe positioniert werden. Dieser Durchbruch verbessert die Röntgenempfindlichkeit erheblich und eröffnet REM-Anwendern eine Reihe neuer Möglichkeiten. Die Integration von BSE-Sensoren war ebenfalls entscheidend, da BSE-Signale für die Erzeugung scharfer, detailreicher Bilder und die Bereitstellung komplementärer Kontrastinformationen zur Ordnungszahl z unerlässlich sind.
Diese fortschrittliche Technologie ermöglicht die Echtzeit-Elementanalyse und revolutioniert damit den SEM-Bildgebungsprozess. Unity verbessert sowohl die Empfindlichkeit als auch die Geschwindigkeit der Röntgendetektion um mindestens das Zehnfache und ermöglicht so eine schnellere und präzisere Elementanalyse. Unity arbeitet perfekt mit Ultim Max Infinity EDS-Detektoren zusammen und liefert die bestmögliche Elementanalyse im SEM mit herausragender Geschwindigkeit, Empfindlichkeit und Quantifizierungsgenauigkeit. Es eröffnet neue Anwendungsmöglichkeiten, indem es traditionelle Hürden überwindet, wie beispielsweise die Detektion von Signalen aus Löchern, rauen Oberflächen und extrem empfindlichen Materialien, die geringe Elektronendosen erfordern. Durch die Bewältigung dieser Herausforderungen setzt Unity einen neuen Standard für die SEM-Bildgebung und erweitert die Möglichkeiten für die fortschrittliche Materialanalyse.
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